Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки. Коллектив авторов
.
- Название
- Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки
- Автор:
- Коллектив авторов
- Серия:
- Жанр:
- Год выпуска:
- 0
- isbn:
- 978-5-507-45480-8
- Аннотация:
- Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».