Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов. Дмитрий Крутогин
Техническая литература.
- Название
- Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов
- Автор:
- Дмитрий Крутогин
- Серия:
- Жанр:
- Техническая литература
- Год выпуска:
- 2012
- isbn:
- Аннотация:
- В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.