Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Дмитрий Крутогин
Педагогика.
- Название
- Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
- Автор:
- Дмитрий Крутогин
- Серия:
- Жанр:
- Педагогика
- Год выпуска:
- 2015
- isbn:
- Аннотация:
- В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».