Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов. Дмитрий Крутогин
Техническая литература.
- Название
- Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов
- Автор:
- Дмитрий Крутогин
- Серия:
- Жанр:
- Техническая литература
- Год выпуска:
- 2013
- isbn:
- Аннотация:
- В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы».