Технология интегральных микросхем. Виталий Смирнов

.

Название
Технология интегральных микросхем
Автор:
Виталий Смирнов
Серия:
Жанр:
Год выпуска:
2023
isbn:
978-5-9729-1232-2
Аннотация:
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».