Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев. Владимир Астахов
Техническая литература.
- Название
- Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
- Автор:
- Владимир Астахов
- Серия:
- Жанр:
- Техническая литература
- Год выпуска:
- 2007
- isbn:
- Аннотация:
- В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.