Наноэлектроника. Марина Орлова
Учебная литература.
- Название
- Наноэлектроника
- Автор:
- Марина Орлова
- Серия:
- Жанр:
- Учебная литература
- Год выпуска:
- 2013
- isbn:
- Аннотация:
- Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.