Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы. Аскер Кушхов

Техническая литература.

Название
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Автор:
Аскер Кушхов
Серия:
Жанр:
Техническая литература
Год выпуска:
2007
isbn:
Аннотация:
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.